中央真空系统真空泵站

真空系统或者真空泵站/组制作
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单级旋片真空泵+真空缓冲罐系统


2台单级旋片真空泵+真空缓冲罐系统（普旭真空泵组/莱宝真空泵组/阿特拉斯真空泵组/静宜真空泵组）


普旭莱宝真空泵+真空罐系统、静宜真空泵+真空罐系统

单级旋片真空泵+罗茨真空泵系统（莱宝真空泵+罗茨真空泵、普旭真空泵+罗茨真空泵、静宜真空泵+罗茨真空泵）
螺杆真空泵+罗茨真空泵系统

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