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SP系列无油涡旋真空泵，又称涡旋泵、干式涡旋泵、无油涡旋泵、无油涡旋泵、干式涡旋真空泵、无油涡旋真空泵，
完美应用于半导体工业、光电、材料、医疗、能源、航空航天、分析仪器及真空系统中，具有结构紧凑、体积小、
重量轻、振动小、噪音低、能耗低、适合全球供电、一键启动、可在常压和真空之间频繁启停。
静宜真空是一家**的涡旋真空泵制造商，拥有超过20年的现场经验，在中国拥有最长的工作时间和**的销量，
SP无油涡旋真空泵
技术参数：
型号 | SP4 | SP8 | SP16 | SP32 | SP60 | ||
抽气速度 |
50Hz | cfm | 2.2 | 4.3 | 9.3 | 18.7 | 35.8 |
l/s | 1.0 | 2.0 | 4.3 | 8.7 | 16.6 | ||
l/min | 60.0 | 120.0 | 258.0 | 522.0 | 996.0 | ||
m3 /h | 3.6 | 7.2 | 15.5 | 31.3 | 59.8 | ||
60Hz | cfm | 2.5 | 5.1 | 10.9 | 22.3 | 42.8 | |
l/s | 1.2 | 2.4 | 5.1 | 10.4 | 20.0 | ||
l/min | 72.0 | 144.0 | 310.0 | 626.0 | 1195.0 | ||
m3 /h | 4.3 | 8.6 | 18.3 | 37.4 | 71.6 | ||
极限真空度 | Torr | ≤6.0*10- 2 | ≤4.5*10- 2 | ≤1.9*10- 2 | ≤7.5*10- 3 | ≤7.5*10- 3 | |
psi | ≤1.2*10- 3 | ≤9.0*10- 4 | ≤3.8*10- 4 | ≤1.5*10- 4 | ≤1.5*10- 4 | ||
Pa | ≤8 | ≤6 | ≤2.6 | ≤1 | ≤1 | ||
mbar | ≤8.0*10- 2 | ≤6.0*10- 2 | ≤2.6*10- 2 | ≤1.0*10- 2 | ≤1.0*10- 2 | ||
噪音 | dB(A) | ≤57 | ≤57 | ≤60 | ≤61 | ≤63 | |
漏率 | mbar·l/s | 1*10- 7 | |||||
**进/排气压力 | MPa | 0.1 / 0.13 | |||||
工作环境温度 | °F | 41~104 | |||||
単相电机 | 功率 | kW | 0.55 | 0.55 | 0.55 | 0.75 | -- |
电压 | V | 110~115 (60Hz), 200~230 (50Hz) | -- | ||||
转速 | rpm | 1425 (50Hz), 1725 (60Hz) | -- | ||||
连接插头 | 国标、北美、欧洲、英国、爱尔兰、印度等 | -- | |||||
三相电机 | 功率 | kW | 0.55 | 0.55 | 0.55 | 0.75 | 1.50 |
电压 | V | 200~230 or 380~415 (50Hz), 200~230 or 460 (60Hz) | |||||
转速 | rpm | 1425 (50Hz), 1725 (60Hz) | |||||
进/排气法兰 | KF25/KF16 | KF40/KF16 | KF40/KF16*2 | ||||
外形尺寸 | 单相 | mm | 455*260*275 | 460*260*275 | 495*310*320 | 525*325*335 | -- |
三相 | mm | 455*260*275 | 460*260*275 | 495*310*320 | 525*325*335 | 565*445*405 | |
净重 | 单相 | kg | 21 | 22 | 29 | 36 | -- |
三相 | kg | 20 | 21 | 28 | 31 | 54 | |
冷却形式 | 风冷 | ||||||
其他 | 带气镇 | ||||||
SP系列涡旋真空泵是清洁泵技术的**。
特点和优点
无油清洁真空
无油反扩散，无油雾排放，提供清洁的真空环境
广泛的产品阵容
抽气速度3~ 60m3 /h，极限真空度1~ 8pa
适用于世界各地各类电源
110/220/380/460V, 50/60Hz可选
低振动，低噪音
57~ 63db (A)，运行平稳
效率高，维修方便
无需水冷却，无需油润滑，无需日常维护
应用场景
半导体行业
真空溅射机。
IC等离子清洗机。
IC等离子抛光机。
IC封装机。
IC传送室。
光电产业
LED真空退火炉。
负载锁定/传递室。
手套箱。
LED包装机。
液晶注射包装。
材料工业
真空退火炉。
真空扩散炉。
3D金属打印。
单晶生长炉。
微波清洗、微波干燥机。
电子束和激光熔化。
真空脱气。真空气体替代。
食品药品行业
冷冻干燥。真空储存。
医疗设备
低温等离子灭菌器。
真空储存。
牙科设备。
能源行业
sf6气体回收机。
锂电池干燥包装机。
分析仪器及装置
光谱学/扫描电镜
空间环境模拟机
氦检漏仪
质谱计
低温泵再生
加速器/同步加速器
真空设备
无油超高真空机组
无油真空装置
外形尺寸：
A | B | C | D | E | F | G | H | K | L | M | N | P | d1 | d2 | |
SP4 | 455 | 260 | 275 | 210 | 210 | 115 | 80 | 130 | 140 | 100 | 155 | 250 | 55 | KF25 | KF16 |
SP8 | 460 | 260 | 275 | 210 | 210 | 115 | 80 | 130 | 140 | 105 | 155 | 250 | 130 | KF25 | KF16 |
SP16 | 495 | 310 | 320 | 260 | 253 | 160 | 90 | 160 | 160 | 115 | 190 | 290 | 150 | KF25 | KF16 |
SP32 | 525 | 325 | 335 | 290 | 253 | 160 | 95 | 170 | 180 | 125 | 205 | 290 | 160 | KF40 | KF16 |
SP60 | 565 | 445 | 405 | 335 | 267 | 185 | 120 | 195 | 190 | 135 | 220 | 305 | 120/65 | KF40 | KF16*2 |
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